1961年毕业于上海交通大学。现任河北工业大学电子工程系教授。曾访问德国柏林技术大学15年。
——教授半导体物理、位错与点缺陷理论,现代测试技术、电子显微术及半导体传感器。在微区测量有限元理论及传感器的零点电漂移研究方面有所建树。在《物理学报》、《电子学报》、《电子器件》、《固体电子学研究与进展》、《半导体学报》、《
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al》、《Review of scientific Instr.》(美)、《
ctor sci. & Tech. target=_blank title=网上书城检索>Semi condn-
ctor sci. & Tech.》(英)、《Sensors & Actuators》、《Robot-ic》等国内外重要期刊发表学术论文约70篇,约有20篇论文分别入选SCI和EI。已完成《微区薄层电阻测试探针技术》(入国家成果公报,已被技术监督部门认定),《压力传感器》、《双膜吸杂硅外延片及衬底片》、《半导体器件计算机辅助设计》、《集成电路生产中外延及扩散过程计算机模拟》、《智能化压力传感器》等7项科研,正在进行《集成传感器与亚微未器件非线性电阻网络理论及应用》、《过渡金属化合物在半导体器件中的特殊应用》、《图像识别在四探针定位技术中的应用》等四项科研(其中国家自然科学基金2项)。著有《半导体测试技术》、《半导体技术中计算仿真及辅助设计》及《晶体缺陷透射电子显微像分析》、《压力传感器的设计、制造及应用》(省教委基金)。译作有《半导体材料及其制备》、《扫描电子显微术与X射线显微分析》。获省、市级科研成果奖二项。被邀为美国纽约科学院成员,名字已被英国物理学出版社编入世界物理学家名单。
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